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1️⃣ 왜 버터플라이가 아닌 poppet (대칭식) 은 따로 봐야 할까?대칭 플런저(plate) 가 스트로크 방향 ± 측으로 동시에 열리기 때문에, 초기 개도에서도 유효 유로 면적이 급격히 증가합니다.따라서 C(θ)C(θ) 가 흔히 쓰는 “sin⁡2\sin^2” 버터플라이 모델보다 훨씬 고‑gain·logistic‑shape가 됩니다.VAT IC2 컨트롤러는 이를 전제로 “Learn+Adaptive” 알고리즘을 지원해 선형화 테이블을 자동 작성합니다(매뉴얼 2.3.4 Soft‑pump). (vatvalve.vatstatic.com)2️⃣ 필수 사양 값 (데이터시트)파라미터 값 출처최대 컨덕턴스 Cmax⁡C_{\max}30 000 L/s (molecular flow)(ManualsLib)최소 컨덕턴스 Cm..

💡 압력을 고정했을 때, Gas Flow (Q) 와 APC 밸브 포지션 (θ) 사이의 수식전제 조건챔버 압력 P는 일정(P = Pₛₑₜ)펌프 정격 펌핑 속도 Sₚ, 밸브 컨덕턴스 모델 C(θ) (= 밸브 개도에 따른 유효 유로)만 알면 계산 가능질량 보존식 (Q = P × S_eff) 과 직렬 컨덕턴스 식(1/S_eff = 1/Sₚ + 1/C)을 그대로 사용1️⃣ 핵심 수식 유도직렬 속도 식 질량 보존식 (고정 압력 Pₛₑₜ) 즉, 고정 압력에서 가스 유량은 밸브 컨덕턴스의 유리함수(분모·분자에 동시에 존재)입니다.★ C(θ) 가 작을 때 → Q ≈ P_set × C(θ) (1차 선형)★ C(θ) 가 Sₚ보다 훨씬 클 때 → Q ≈ P_set × Sₚ (밸브가 아무리 더 열려도 펌프 한계로 포화)2️..

🔧 반도체 Etch 챔버 압력 vs APC 밸브 포지션: 수식‧모델링 요약 목표고정된 가스 유량 (예: 100 sccm)에서 챔버 압력 P와 APC 밸브 개도 θ 사이의 관계를 실무에 바로 쓸 수 있는 형태로 정리합니다. 1. 기본 가정과 변수 정의기호 의미 단위(권장)Q가스 유량 (mass flow rate)Torr · L / s → sccm에 Q = (sccm) × 760 / 60 변환P챔버 정상상태 압력TorrSₚ메인 펌프 정격 펌핑 속도L / sC(θ)APC 밸브 컨덕턴스L / sS_eff유효 펌핑 속도L / s 2. 1차 원리로부터의 핵심 식2‑1. 질량 보존 (기본식)Q = P × S_eff(가스 유입량 = 챔버에서 배출되는 가스량) (agilent.com) 2‑2. 유효 펌핑 속도펌프..

When studying time series analysis, especially with a focus on autocorrelation, unit root tests (such as the Augmented Dickey-Fuller, ADF, test), and cointegration, the following books and resources are highly recommended for their clarity, coverage, and practical examples. Below each recommendation is a brief explanation of what you will find in the book relevant to your specific interests.Int..